Toote ülevaade

Meie ettevõtte vertikaalsed ja horisontaalsed torusoojusahjud keskenduvad mõlemad kõrgele-täpsele temperatuurikontrollile-, nad saavad hakkama kõigi peamiste pooljuhtide kuumtöötlustega, nagu oksüdatsioon, difusioon ja lõõmutamine,-olgu see siis masstootmiseks või laboratoorseks uurimis- ja arendustegevuseks. Tegelikud erinevused nende vahel tulenevad struktuurist ja sellest, kuidas need sobivad konkreetseks kasutuseks:

Vertikaalne toru termoahi

Vertikaalne toruahi säästab ruumi, sobib vähem kui 8-tollistele vahvlitele (saadaval on 12-tolline tööstuslik valik). Peamised andmed: 850 mm max konstantse temperatuuri tsoon, ±0,5 kraadi juhtimistäpsus.

Tööstusmudel: suurendab IC/IGBT masstootmist pideva partiitöötluse kaudu. Uurimismudel: rahuldab SiC/kvantkiibi keskmise-madala temperatuuri vajadusi väikese partii{2}}kinnitamiseks.

Horisontaalne toru termoahi

Horisontaalne toruahju disain, paindlik 1-4 toruga konfiguratsioon; 300–1000 mm kohandatav konstantse temperatuuri tsoon, vahemik 400–1200 kraadi.

Tööstusmudel: mitme{0}}protsessi integreerimine vahvlite dopinguks/struktuurseks vormimiseks. Uurimismudel: ühendab õpetamise ja arenduse, sobib ideaalselt ülikoolide väikesteks{2}}hulkkatseteks.

Mõlemad kasutavad puhtaid kambreid ja stabiilset temperatuuri reguleerimist, mis katab pooljuhtide soojusvajadused teadus- ja arendustegevusest masstootmiseni.

Rakendused

- Ülikoolidele/teadusasutustele: toetab ränikarbiidi, kvantkiipide jms väikese-partii uurimis- ja arendustegevust, aidates kaasa uute materjalide protsesside kontrollimisele ja jõudluse testimisele.
- Mikro-nanotöötlus: käsitleb difusiooni, oksüdatsiooni, lõõmutamist, LPCVD-toimib paindliku platvormina optoelektrooniliste/fotooniliste seadmete uurimisel.
- Optiliste seadmete uurimis- ja arendustegevus: sobib integreeritud optilise lainejuhi/kiire{1}}fotoonilise seadme arendusega; vastab LiNbO₃ kuumtöötluse vajadustele prootonivahetuses.
- Ülikooliõpetus: abistab eksperimentaalset õpetamist/protsesside arendamist, aidates hallata pooljuhtsoojusseadmeid ja ühendada teooria inseneritööga.

Eelised

Täpne{0}}temperatuuri reguleerimine:

±0,5 kraadise täpsusega; isegi 1100 kraadi juures püsib ühe -punkti stabiilsus ±0,5 kraadi 24 tundi, tagades andmete usaldusväärse korratavuse.

Mitme protsessiga{0}}ühilduvus:

Vertikaalsed ahjud toetavad difusiooni/oksüdatsiooni; horisontaalsed lisavad anniilimise ja LPCVD. Mõlemad sobivad SiC/kvantkiibi uurimis- ja arendustegevuseks.

Uurige{0}}sõbralikku kohanemisvõimet:

Töötab kuni 8-tolliste vahvlitega (1-4 toru on valikuline). Ühe toruga väikese partii disain vähendab kulusid; toetab pikki pidevaid katseid.

Parameetrid

Üksus	Vertikaalne toruahi	Horisontaalne toruahi
Temperatuurivahemik	200 kraadi -600 kraadi, 600 kraadi -1200 kraadi (kaks vahemikku on valikuline)	200 kraadi -600 kraadi, 600 kraadi -1200 kraadi (kaks vahemikku on valikuline)
Temperatuuri reguleerimise täpsus	Vähem kui ±0,5 kraadi või sellega võrdne	Vähem kui ±0,5 kraadi või sellega võrdne
Temperatuuri ühtlus	-	Väiksem või võrdne ±1 kraadiga
Ühe{0}}punkti temperatuuri stabiilsus	Vähem kui ±0,5 kraadi või võrdne sellega 1100 kraadi juures 24 tundi järjest	Vähem kui ±0,5 kraadi või võrdne sellega 1100 kraadi juures 24 tundi järjest
Maksimaalne küttekiirus	10 kraadi /min	10 kraadi /min
Püsitemperatuuri tsooni pikkus	200-500 mm	200-500 mm

KKK

Milliste vahvlisuurustega torusoojusahi hakkama saab?

Nii vertikaalsed kui ka horisontaalsed mudelid toetavad kuni 8 tolli vahvleid.

Milliseid põhiprotsesse nad saavad täita?

Vertikaalne toruahi: hõlmab difusiooni, oksüdatsiooni ja lõõmutamist.
Horisontaalne toruahi: lisab nendele põhitõdedele LPCVD-integratsiooni.

Kas protsessitorude arvu saab kohandada?

Absoluutselt-saate vastavalt oma vajadustele valida 1 kuni 4 toru ühiku kohta.

Kui täpne on temperatuuri reguleerimine?

Temperatuuri reguleerimise täpsus jääb ±0,5 kraadi piiresse. Isegi 1100 kraadi juures säilitab üks punkt stabiilsuse ±0,5 kraadi piires 24 tundi järjest. Ka horisontaalsete ahjude puhul on temperatuuri ühtlus ±1 kraadi piires.

Kuidas on lood küttekiiruse ja temperatuurivahemikuga?

Maksimaalne kuumutuskiirus ulatub 10 kraadini minutis, saadaval on kaks temperatuurivahemikku: 200-600 kraadi ja 600-1200 kraadi.

Kas püsiva temperatuuri tsooni pikkus on reguleeritav?

Vaikimisi on see vahemikus 200–500 mm ja kohandamist toetatakse.

Kumb on parem ülikoolide uurimislaborite jaoks?

Kui vajate põhiprotsesse, vali vertikaalne{0}}see säästab ruumi ja on kulutõhus-. Valige horisontaalne, kui vajate LPCVD-d, õppetoetust või ühendate laboritöö ja masstootmise.

Kas see suudab pikki katseid läbi viia? Kas ülalpidamine on kulukas?

See toetab pidevat pikaajalist{0}}tööd. Hooldust teostatakse harva, nii et kulud jäävad hallatavaks.

Kas see sobib katse- või väike{0}}partiitootmiseks?

Jah-mõlemad mudelid lülituvad sujuvalt uurimis- ja arendustegevuse ning väikese{1}}partiitootmise vahel.

Kuum tags: toru termoahi, Hiina torusoojusahjude tootjad, tarnijad