Toote ülevaade
Automaatne RTP-seade, mis ühildub 8-12-tolliste vahvlitega, millel on ühe-/kahe{7}}õõnsusega konstruktsioon ja mis on spetsiaalselt loodud masstootmiseks. Integreerides roboteid ja muid komponente, saavutatakse täielikult automatiseeritud vahvlite laadimine, lõõmutamine ja jahutamine. See võib liidestada tootmisjuhtimissüsteemidega ja toetab ühe vahvlikasti jaoks erinevaid protsesse. Täpse temperatuuri reguleerimise ja stabiilse tööga (vahvli purunemiskiirus 1/10000 või vähem) sisaldab see mitmeid ohutuskaitseid ja sobib ülitäpsete lõõmutamisprotsesside jaoks pooljuhtides ja muudes valdkondades.
Omadused
Meil on varustusvõimalused, mis hõlmavad erinevat laiust ja kambrite arvu, mis kõik tagavad ühtse jõudluse peamiste parameetrite lõikes.
See töötab nii avatud kasseti kui ka SMIF-i seadistustega, haldades kogu protsessi automaatselt{0}} alates kaardistamisest ja joondamisest kuni vahvlite teisaldamise, lõõmutamise ja jahutamiseni.
Tarkvara võimaldab teil valida eelseadistatud retsepte, mis on kohandatud samas kassetis olevatele üksikutele vahvlitele, hoides samal ajal kursis{0}}reaalajas töötlemise olekuga.
See täielikult automatiseeritud süsteem integreerub sujuvalt teie olemasoleva EAP/MES infrastruktuuriga, et töövoogusid paremini koordineerida.
Installimise ja silumise ajal on meie -müügijärgsed insenerid kohapeal-, et pakkuda praktilist-tuge ja lahendada kõik ilmnevad probleemid.
Eelised
- Kasutades kütmiseks kahte infrapuna-halogeenlampi koos kiire lämmastikujahutusega, on süsteemil tõhus ja stabiilne soojusringlus.
- Spetsiaalne lampide rühmitus tagab ühtlasema temperatuuri kogu töötlemispiirkonnas.
- Sisseehitatud-PID-juhtimisalgoritm võimaldab lambi{1}}võimsust reaalajas reguleerida, säilitades kogu protsessi vältel täpse temperatuuri reguleerimise.
- Kolmel-tasemel kasutaja juurdepääsuhaldus tagab mugava ja turvalise teabehalduse. Tarkvara põhiliides kuvab põhiparameetreid, nagu gaasi voolukiirus, temperatuur ja vaakumi tase reaalajas, pakkudes selget ülevaadet olekust.
- Süsteem salvestab automaatselt kõik protsessiga{0}}seotud andmed, et neid oleks tulevikus lihtne jälgida.
- Sellel on laiaulatuslik anomaaliate kaitsemehhanism, mis käivitab kohe kaitse, kui tuvastatakse rike, sealhulgas ülekuumenemine (vesijahutusega alumiiniumsulamist kamber 70 kraadi või rohkem), termopaari ebanormaalsed näidud, ebatavaline küttevõimsus, lukustamata ahjuuks, liigne gaasirõhk, ebapiisav veevool ja veelekke.
- Hädaseiskamisfunktsiooni saab käivitada ühe nupuga, katkestades kohe kõik protsessid ja katkestades soojusallika.
Parameetrid
|
Mudel |
RTP-200 |
RTP-300 |
|
Vahvli suurus |
8 tolli ja alla selle 12 tolli ja alla selle |
8 tolli ja alla selle 12 tolli ja alla selle |
|
Kambri number |
1 |
2 |
|
Laadige kasseti number |
2 |
2 või 3 |
|
Laadige kassett meetod |
SMIF või avatud kassett |
|
|
Suurus |
1600mm × 2450mm × 2200mm (W×D×H) |
2100mm × 2450mm × 2200mm (W×D×H) |
|
Temperatuurivahemik |
RT ~ ~ 800 kraadi (juhitav termokoobiga) 500 kraadi ~ 1250 kraadi (juhitav püromeetriga) |
RT ~ ~ 800 kraadi (juhitav termokoobiga) 500 kraadi ~ 1250 kraadi (juhitav püromeetriga) |
|
Maksimaalne küttekiirus |
150 kraadi /s---Ainult vahvel 20 kraadi /s---SiC kandja 30 kraadi /s---Grafiitkandjakate SiC |
150 kraadi /s---Ainult vahvel 20 kraadi /s---SiC kandja 30 kraadi /s---Grafiitkandjakate SiC |
|
Temperatuuri ühtlus |
Väiksem või võrdne ±3 kraadi @ Vähem kui 600 kraadi või sellega võrdne Väiksem või võrdne ±0,5% @ ＞600 kraadi |
Väiksem või võrdne ±3 kraadi @ Vähem kui 600 kraadi või sellega võrdne Väiksem või võrdne ±0,5% @ ＞600 kraadi |
|
Temperatuuri korratavus |
±1 kraadi |
±1 kraadi |
|
Lampide/SCR-ide arv |
33 tk / 10 komplekt |
45 ea / 16 komplekt 55 ea / 24 komplekt |
|
Max MFC |
6 |
6 |
|
Madalaim rõhk |
30 mTorr |
30 mTorr |
|
Lekke määr |
10 mTorr/min |
10 mTorr/min |
|
O2Protsent |
＜1 ppm |
＜1 ppm |
|
Automaatne |
OCR + robot (kahe käega) + sõrmed (vaakum/Bernoulli) + joondus + jahutusjaam |
|
|
WPH (ennustus) |
5 |
|
|
Tööaeg |
＞92% |
|
|
Keskmine puhastusaeg (MTTC) |
Vähem kui 6 tundi või sellega võrdne |
|
|
Keskmine remondiaeg (MTTR) |
Vähem kui 4 tundi või sellega võrdne |
|
|
Keskmine riketevaheline aeg (MTBF) |
Rohkem kui 200 tundi või sellega võrdne |
|
|
Mean Wafers Between Breakage (MWBB) |
Vähem kui 1 10 000 vahvli kohta või sellega võrdne |
|
|
Maksimaalne/ keskmine võimsus |
90/60 Kw (ATS-8) 100/80 Kw (ATS-12) |
180/120 Kw (DTS-8) 200/160 Kw (DTS-12) |
|
Pinge |
380V/ 60HZ/ 3 faasi 5 juhtmed |
380V/ 60HZ/ 3 faasi 5 juhtmed |
|
Kontrollimeetod |
Arvuti juhtimine |
Arvuti juhtimine |
KKK
Kas automaatne RTP-seade ühildub 8/12-tolliste vahvlitega? Kas kuni 12-tollise tootmise suurendamine nõuab seadmete väljavahetamist?
Täielikult ühilduv. Suurendamine nõuab ainult tarkvara parameetrite kohandamist; seadmeid ei ole vaja välja vahetada, mis vähendab kulusid.
Kas see saab integreerida olemasolevate EAP/MES-süsteemidega? Kas see mõjutab tootmisliini?
Võimalik on sujuv integreerimine. Insenerid pakuvad kohapeal-silumist, parandades tootmisliini tõhusust ja järjepidevust.
Kas sama vahvlikasti jaoks saab seadistada erinevaid protsesse? Kas operatsioon on keeruline?
Toetab "mitu protsessi kasti kohta". Tarkvaraliides võimaldab lihtsat valikut ja seadistusi, ilma täiendava koolituseta.
Kas hädaolukorras on olemas ohutuskaitse? Kas see kahjustab vahvleid või vigastab töötajaid?
Sellel on hädaseiskamine ja automaatne riskituvastuse kaitse, et kaitsta nii vahvleid kui ka personali.
Sertifitseerimine
◆ Vastavussertifikaat SEMI S2
Kuum tags: automaatsed rtp-seadmed, Hiina automaatsete rtp-seadmete tootjad, tarnijad
