Toote ülevaade

Lauaarvuti RTP-seadmed Väikeste{0}}suuruste vahvlitega kohandatavad seadmed on kompaktse disaini ja paindliku paigutusega. Temperatuuri reguleerimine hõlmab toatemperatuuri kuni 800 kraadini (termopaar) ja 500 kraadist kuni 1200 kraadini (infrapunapüromeeter), maksimaalse kuumutuskiirusega 150 kraadi sekundis (ainult vahvel). Temperatuuri ühtlus on väiksem või võrdne ±3 kraadi (vähem või võrdne 600 kraadi) / väiksem või võrdne ±0,5% (＞600 kraadi) ja reprodutseeritavus on ±1 kraadi, tagades täpse temperatuuri reguleerimise. See kasutab käsitsi laadimise/mahalaadimise ja ukse avamise/sulgemise režiime, on varustatud helisignaali ja hoiatustuledega ning toetab arvuti juhtimist. Lauaarvutite RTP-seadmed vastavad põhilistele kiire termilise töötlemise nõuetele, nagu ioonide implantatsiooni lõõmutamine ja oksiidide kasvatamine laboratoorses uurimis- ja arendustegevuses ning väikestes partiides{14}}tootmises.

Eelised

Väga hästi kohandatav ruumiga: kompaktne disain võimaldab paindlikku paigutust, mis nõuab minimaalselt ruumi ja sobib laborites või väikeses -partiitootmiskeskkonnas, kus on piiratud ruumi.

Täpne ja stabiilne temperatuuri juhtimine: Temperatuuri ühtlus saavutab ±3 kraadi või sellega võrdse (vähem kui 600 kraadi või sellega võrdne) / ±0,5% või võrdne sellega (＞600 kraadi), mis vastab põhiprotsesside temperatuuri täpsuse nõuetele.

Ohutu ja intuitiivne kasutamine: Varustatud helisignaali ja hoiatustuledega, näitab see kohe seadme olekut, vähendades sellega tööriske. Arvuti juhtimine on toetatud ja parameetrite reguleerimine on mugav.

Hea kohanemisvõime põhiprotsessidega: Toetab minimaalset rõhku 30 mTorr ja hapnikusisaldust<3ppm. With 4-channel maximum MFC, it meets basic vacuum and atmosphere requirements, adapting to various simple and rapid heat treatment scenarios.

Rakendused

Ioonide implantatsiooni lõõmutamine

Lihtne oksiidi/nitriidi kasv

Silitsiidsulami eeltöötlus

Esialgne oomiline kontakti legeerimine

Muu väikese proovi kuumtöötlus

Parameetrid

Mudel	RTP-100
Vahvli suurus	6 tolli ja alla selle
Suurus	910 mm × 860 mm × 695 mm (L × P × K)
Temperatuurivahemik	RT ~ ~ 800 kraadi (juhitav termokoobiga) 500 kraadi ~ 1200 kraadi (juhitav püromeetriga)
Maksimaalne küttekiirus	150 kraadi /s---Ainult vahvel 20 kraadi /s---SiC kandja 30 kraadi /s---Grafiitkandjakate SiC
Temperatuuri ühtlus	Väiksem või võrdne ±3 kraadi @ Vähem kui 600 kraadi või sellega võrdne Väiksem või võrdne ±0,5% @ ＞600 kraadi
Temperatuuri korratavus	±1 kraadi
Lampide/SCR-ide arv	29 tk / 10 komplekt
Max MFC	4
Madalaim rõhk	30 mTorr
Lekke määr	10 mTorr/min
O₂Protsent	＜3 ppm
Maksimaalne/ keskmine võimsus	60/ 36 Kw
Pinge	380V/ 60HZ/ 3 faasi 5 juhtmed
Kontrollimeetod	Arvuti juhtimine

KKK

Pärast käivitamist kostab helisignaal ja hoiatustuli põleb?

Esmalt vajutage äratuse peatamiseks nuppu "RESET". Kontrollige, kas õõnsuse uks on tihedalt suletud ja ukselukk on kinnitatud. Kui probleem püsib, kontrollige ukseluku anduri juhtmestikku.

Milliseid ettevaatusabinõusid tuleks vahvlite käsitsi laadimisel ja mahalaadimisel järgida?

Saastumise vältimiseks kandke puhtaid kindaid. Käsitsege vahvlit õrnalt, et vältida kokkupõrkeid ja veenduda, et see on kanduri keskel.

Kuidas vahetada termopaari/infrapuna püromeetri temperatuuri reguleerimise vahel?

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800 kraadi. Pärast ümberlülitamist kalibreerub süsteem automaatselt.

Kuumutamiskiirus ei ole 150 kraadi /s (ainult vahvel)?

Kinnitage, et kandjat pole (SiC/grafiidikandjad piiravad kiirust); kontrollige, kas kõik lambid töötavad korralikult. Vigased komponendid nõuavad-müügijärgset teenindust.

Temperatuuri ühtlus ületab ±3 kraadi (vähem kui 600 kraadi või sellega võrdne)?

Kinnitage vahvel Vähem kui 6 tolli või sellega võrdne; kontrollige tarkvaras lambi võimsust, kui see on ebanormaalne, inseneri juhised peenhäälestamiseks; puhastage regulaarselt kvartskambrit ja seejärel kalibreerige.

Vahvli pinna oksüdatsioon?

Kontrollige, kas vaakum on väiksem või võrdne 30 mTorr (kui see on ebapiisav, kontrollige lekkeid ja vahetage vaakumpumba õli); kinnitage O₂ sisaldus < 3 ppm (kui see ületab, vahetage gaasiballoon / kontrollige torujuhtme lekkeid).

Igapäevase hoolduse põhipunktid?

Pühkige kvartskambrit alkoholiga kord nädalas, kontrollige lambikomplekti iga 3 kuu järel (vahetage pärast 1000 tundi), kontrollige igakuiselt tihendusrõnga vananemist, veenduge, et vesijahutus ei ületaks 70 kraadi.

Lauaarvuti RTP-seadmete madalrõhualarm?

V: Lülitage protsess välja, kontrollige vaakumtorustikku, taaskäivitage pump; kui see on endiselt ebanormaalne, kontrollige lekkekiirust (kui see ületab 10 mTorr/min, leidke leke asukoht ja parandage see).

Arvuti ei saa parameetreid lugeda?

Kontrollige sidekaablit seadme ja arvuti vahel, taaskäivitage ja proovige uuesti; kui andmeid ikka pole, kontrollige anduri juhtmeid või võtke pärast{0}}müüki ühendust tarkvaradraiveri kontrollimiseks.

Kuidas seadet hädaolukorras peatada?

Soojusallika väljalülitamiseks ja kaane avamiseks vajutage nuppu "EMO Emergency Stop"; pärast tõrke kõrvaldamist vajutage lähtestamiseks ja taaskäivitamiseks nuppu "RESET".