Toote ülevaade
Meie vertikaalne oksüdatsiooni- ja lõõmutusahi on ehitatud usaldusväärseks termiliseks töötlemiseks pooljuhtide tootmisel. See tegeleb integraallülitustes, toiteseadmetes ja MEMS-ides kasutatavate vahvlite oksüdeerimise, lõõmutamise ja legeerimisega. 6-, 8- ja 12-tolliste vahvlite toega ning kuni 150 tüki mahutavusega on see loodud järjepidevate tulemuste saavutamiseks laias protsessi temperatuurivahemikus.
Eelised
Tugev süsteemi töökindlus ja stabiilne jõudlus, nii et protsessid jäävad korratavaks isegi pikkade tööperioodide ajal.
Täielikud lukustusmehhanismid kaitsevad operaatoreid, vahvleid ja ahju ennast töötamise ajal.
Intuitiivne juhtimine ja lihtne hooldus aitavad vähendada seisakuid ja lihtsustavad igapäevast kasutamist.
Rakendused
Integraallülitused: kasutatakse oksüdeerimise, lõõmutamise ja legeerimise etappides, et parandada kile kvaliteeti ja seadme jõudlust.
Toiteseadmed: toetavad kõrgtemperatuuri{0}}termotöötlust, mis parandavad elektrilisi omadusi ja{1}}pikaajalist töökindlust.
MEMS: tagab kontrollitud termilise töötlemise struktuuri moodustamiseks, pinge leevendamiseks ja seadme stabiliseerimiseks.
KKK
K: Milleks see vertikaalne oksüdatsiooni- ja lõõmutusahi mõeldud on?
V: See on termotöötlussüsteem, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisel oksüdeerimiseks, lõõmutamiseks ja legeerimiseks, eriti integraallülituste, toiteseadmete ja MEMS-i jaoks.
K: Milliste vahvlisuurustega see hakkama saab?
V: See toetab 6-, 8- ja 12-tolliseid vahvleid, nii et see töötab paljudes tavalistes tootmis- ja uurimis- ja arendustegevuse seadistustes.
K: Mitut vahvlit saab see korraga töödelda?
V: Ahi võib laadida kuni 150 vahvlit partii kohta, mis aitab säilitada head läbilaskevõimet protsessi stabiilsust kaotamata.
K: Millist temperatuurivahemikku see katab?
V: Protsessi temperatuurid ulatuvad 400 kraadist 1250 kraadini, nii et see suudab toime tulla mitmesuguste termiliste töötlustega.
K: Mis teeb selle ahju igapäevases kasutuses usaldusväärseks?
V: Sellel on tugev üldine stabiilsus, täielik turvablokeerimissüsteem ning lihtne töö ja hooldus, mis aitab vähendada seisakuid ja hoida tootmist sujuvalt.
K: Kas seda saab kasutada nii teadus- ja arendustegevuses kui ka tootmises?
V: Jah. Selle paindlik temperatuuri reguleerimine ja ühilduvus erinevate vahvlisuurustega muudavad selle sobivaks nii laboriarenduseks kui ka masstootmiseks.
Kuum tags: vertikaalne oksüdatsiooni- ja lõõmutusahi, Hiina vertikaalsete oksüdatsiooni- ja lõõmutusahjude tootjad, tarnijad
