Pooljuhtide tootmises muudab või rikub kiire termilise töötlemise (RTP) käik vahvli saagikust ja protsessi konsistentsi. Automaatne RTP-seade on loodud masstootmiseks-töötab 8-12-tolliste vahvlitega, töötab täielikult automatiseeritult ja hoiab temperatuuri paigal. Kuid õige mudeli valimine ei ole alati lihtne ja selle väljaselgitamine, kas see sobib teie töövooga, võib olla keeruline. Jaotame selle lihtsate sõnadega.
I. Kolm lihtsat sammu õige mudeli valimiseks
1. samm: alustage oma tootmismahust (õõnsused + kassetid)
Üksik{0}}õõnsus (RTP-200): 1 õõnsus, 2 kassetti, töötleb 5 vahvlit tunnis ja laguneb harva (MTBF 200 tundi või rohkem). Kui teete 100 või vähem vahvlit päevas või katsetate uusi protsesse, on see kindel panus,{6}}saab töö tehtud ilma liigsete kulutusteta.
Kahe{0}}kaviteet (RTP-300): 2 õõnsust, 2-3 kassetti ja rohkem võimsust (kuni 200 kW mudelil DTS-12). Suurepärane, kui klopite päevas välja üle 100 vahvli ja vajate pidevat tootmist. Hooldus on ka kiire (MTTR vähem kui 4 tundi või sellega võrdne), nii et seisakud jäävad minimaalseks.
2. samm: sobitage parameetrid oma vahvlite ja protsessidega
Vahvli suurus: Kui liigute 8-tolliselt 12-tollisele, pole vaja seadmeid välja vahetada – lihtsalt kohandage tarkvara. Ülimalt mugav, kui plaanite hiljem mastaapi suurendada.
Temperatuuri vajadused:
Madala-soojuse tööd (toatemperatuur kuni 800 kraadi): kasutab termopaare, hoiab temperatuuri ühtlasena ±3 kraadi piires -sobib madala-pingega lõõmutamiseks.
Kõrge-kuumusega tööd (500-1250 kraadi): põhineb püromeetritel, ühtlus on kuni ±0,5% üle 600 kraadi. Soojeneb liiga kiiresti-150 kraadi/s paljaste vahvlite jaoks – ideaalne iooniimplantatsiooni aktiveerimiseks või õhukese kilega lõõmutamiseks.
Kandja tüüp: SiC kandjad saavutavad 20 kraadi /s, samas kui SiC-kaetud grafiidiga kandjad ulatuvad kuni 30 kraadi /s-valige oma seadistusele sobiv.
3. samm: veenduge, et see sobiks hästi teie olemasoleva seadistusega
Kasseti valikud: töötab nii SMIF-i (suletud, tolmuvaba-) kui ka avatud kasseti (avatud, hõlpsamini juurdepääsetav) süsteemidega-pole vaja praegust seadistust põhjalikult uuendada.
Süsteemi integreerimine: haakub otse teie EAP/MES-tarkvaraga ilma probleemideta. Lisaks saate samas kassetis olevatele vahvlitele erinevaid protsesse seadistada-väga kasulik, kui teete väikese-partii kohandatud katseid.
Ohutus ja jälgitavus: kolm kasutajajuurdepääsu taset (hoiab andmed turvaliselt), salvestab kogu protsessiteabe hilisemaks kontrollimiseks ja lülitub välja, kui midagi läheb valesti,{0}}nt ülekuumenemine, veelekke või ebastabiilne rõhk. Üks -võti hädapeatus on elupäästja ja vahvli purunemine on üliharv (vähem kui 1 10 000-st).
II. Kellele see varustus tegelikult kasu saab?
Keskmised{0}}kuni-suured pooljuhtide tootjad(IC-d, jõupooljuhid, liitpooljuhid): vajate varustust, mis töötab usaldusväärselt (tööaeg üle 92%), püsib täpselt (temp. korratavus ±1 kraad) ja kasvab koos teie ettevõttega -see märgib kõik need ruudud.
Pooljuhtide pakendamise/testimise ettevõtted: Vahvli-tasemel pakend (WLP) või süsteem-pakendis (SiP) vajab õrna ja järjepidevat töötlemist. Selle seadme madal purunemismäär ja paindlikud protsessisätted muudavad selle suurepäraselt sobivaks.
Kõrgekvaliteedilised{0}}elektrooniliste materjalide valmistajad(SiC/GaN-substraadid, epitaksiaalplaadid): vajate puhast, ühtlast kõrget kuumust ja kiireid termotsükleid. Kuna hapnikusisaldus on alla 1 ppm, hoiab see varustus teie materjalid puhtana ja kvaliteetse{2}}.
III. Kus see kõige paremini töötab
IC tootmine: ioonimplantatsiooni aktiveerimine ja silitsiidlõõmutamine-kaks kriitilist sammu, mille puhul temperatuuri reguleerimist ei saa välja lülitada.
Võimsuspooljuhtide tootmine: käsitleb tugevat ja täpset töötlemist{0}}SiC- ja GaN-seadmeid.
Substraadi/epitaksiaalse vahvli töötlemine: silub defekte ja vähendab pinget kolmanda -generatsiooni pooljuhtsubstraatides ja epitaksiaalsetes plaatides.
Vahvli-tasemel pakend: tugevdab sidemeid laastude ja vahvlite vahel, kahjustamata õrnu komponente-kõik automatiseeritud, nii et inimlikud vead puuduvad.
Pakkimine
Automaatsete RTP-seadmete valimine taandub kolmele asjale: sobitage õõnsused oma tootmismahuga, parameetrid protsessidega ja veenduge, et see integreerub olemasolevaga. See ei ole üks-suuruses-sobiv-tööriist, kuid keskmistele-kuni-suurtele pooljuhtide ettevõtetele, pakendamis-/testimistöökodadele ja elektroonikamaterjalide tootjatele on see usaldusväärne tööhobune-eriti suure-täpse ja masstootmistööde{8} jaoks. Kui uuendate lõõmutamisprotsesse, suurendate selle suurust või vajate lihtsalt suuremat järjepidevust, tasub seda seadet lähemalt uurida.
