Toote ülevaade
Backside Wafer Cleaner on spetsiaalne märgtöötlusseade, mis on loodud pooljuhtplaatide tagakülje puhastamiseks ja toetab 6–12-tollise vahvlivormingut. Täiustatud pakkimistöövoogude jaoks kohandatud sellel on 4-kambriline konfiguratsioon, 2 SMIF POD/FOUP kandja ühilduvus ja põhiprotsessi juhtimine (küte, voolukiirus, rõhk). Läbilaskevõimega 55–60 vahvlit tunnis, see integreerib turvafunktsioonid (ülekuumenemiskaitse, lekketuvastus) ja SECS/GEM-kommunikatsiooni nutika fabi integreerimiseks.
Eelised
Laia vahvliga ühilduvus:
Toetab 6–12-tollisi vahvleid, kohandudes erinevate täiustatud pakendamisvajadustega.
01
Stabiilne protsessi jõudlus:
Kontrollib vahvlite kõverdumist ±10 mm piires, tagades õhendatud vahvlite konsistentsi.
02
Tõhus läbilaskevõime:
Tarnib 55–60 vahvlit tunnis, tasakaalustades kiirust ja puhastuskvaliteeti.
03
Paindlik ja turvaline:
Valikuline DICO2 keemiline / tagakülje kaitse; sisaldab salastatud kuivendus- ja ohutusjärelevalvet.
04
Tehase integreerimine:
Täielik SECS/GEM tugi sujuvaks ühendamiseks MES-süsteemidega.
05
Rakendused
Sihtväli:Täiustatud pooljuhtpakend.
Põhiprotsess:Vahvlite tagakülge puhastamine pärast lahjendamist (eemaldab harvendusprotsesside jäägid, et tagada pakendi usaldusväärsus).
Parameetrid
|
Spetsifikatsioon |
Üksikasjad |
|
Vahvli suurus |
6-12 tolli |
|
Vahvlite kõverdumise tolerants |
Väiksem või võrdne ±10 mm |
|
Läbilaskevõime (WPH) |
55-60 vahvlit tunnis |
|
Kambrid |
4 kambrit |
|
Kandja ühilduvus |
2 SMIF POD/FOUP |
|
Toetatud keemia |
DICO2 (tagakülje kaitse valikuline) |
|
Protsessi juhtimise funktsioonid |
Kütte reguleerimine, vooluhulga reguleerimine, rõhu reguleerimine |
|
Ohutusfunktsioonid |
Vanni ülekuumenemise kaitse, lekke tuvastamine, klassifitseeritud |
|
Sideprotokoll |
SECS/GEM |
|
Sihtrakendusväli |
Täiustatud pakend |
KKK
Milliseid vahvlisuurusi see seljapuhasti toetab?
See ühildub 6–12-tolliste vahvlitega, katab tavalised vormingud täiustatud pakendites.
Kui suur on maksimaalne vahvlikõverdus, millega see hakkama saab?
See toetab vahvleid, mille kõverus on väiksem kui ±10 mm või sellega võrdne, sobib pakkimisprotsessides õhendatud vahvlite jaoks.
Kui kiire on selle seadme läbilaskevõime?
See suudab töödelda 55–60 vahvlit tunnis, tasakaalustades tõhususe ja puhastuskvaliteedi.
Milliste operaatoritega see töötab?
See toetab 2 SMIF POD/FOUP kandjat, mis on vastavuses standardsete fab logistikasüsteemidega.
Millist keemiat see kasutab ja kas tagakülje kaitse on saadaval?
See kasutab DICO2 (valikuline tagakülje kaitse konfiguratsioon on saadaval).
Kas see saab ühendada meie tehase MES-süsteemiga?
Jah-täielik SECS/GEM-sideprotokolli tugi võimaldab sujuvat integreerimist MES-iga.
Millised turvafunktsioonid sellel on?
See sisaldab vanni ülekuumenemise kaitset, lekke tuvastamist ja salastatud jäätmete äravoolu.
Kuum tags: tagakülje vahvlipuhastaja, Hiina tagakülje vahvlipuhastusvahendite tootjad, tarnijad
