Toote ülevaade
See magnetroni pihustussüsteem on loodud metalli õhukese kile sadestamiseks pooljuhtide tootmisel. Seda kasutatakse laialdaselt integraallülitustes, toiteseadmetes ja täiustatud pakendites. Süsteem toetab 6- ja 8-tollisi vahvleid ning tagab stabiilse, korratava õhukese kile kasvu nii uurimis- ja arendustegevuse kui ka mahutootmise jaoks.
Eelised
1. Klastri stiil ja modulaarne disain muudavad selle hõlpsaks konfigureerimise ja laiendamise erinevate protsessivajaduste jaoks.
2. Täielikult automatiseeritud vahvlite käsitsemine koos täielike abifunktsioonidega hoiab töö stabiilsena ja vähendab käsitsi sekkumist.
3. Ühekambriline ühe sihtmärgi paigutus toetab paralleelseid ja sünkroonseid protsesse, parandades üldist tõhusust.
4. Kõrge vaakumi jõudlus kuni ~6E 6 Pa ja lehe takistuse ühtlus Vähem kui 3% või sellega võrdne aitab tagada ühtlase kilekvaliteedi kõikidel vahvlitel.
Rakendused
1. Integraallülitused: kasutatakse metallist ühenduste, elektroodide ja tõkkekihtide paigutamiseks esi- ja tagaotsa protsessidesse.
2. Toiteseadmed: toetab metallkile moodustamist elektroodide jaoks, metalliseerimist ja passiveerimist kõrgepinge ja suure võimsusega komponentides.
3. Täiustatud pakend: tagab usaldusväärse metalliseerimise ümberjaotuskihtidele (RDL), põrutustele ja muudele pakkimisstruktuuridele.
KKK
K: Milleks seda magnetroni pihustussüsteemi tegelikult kasutatakse?
V: See on õhuke{0}}kile sadestamise tööriist-peamiselt metallkilede paigaldamiseks pooljuhtide tootmisel. Mõelge, et integraallülitused, toiteseadmed ja täiustatud pakkimisprotsessid{3}}on selle peamised kasutusjuhud.
K: Milliste vahvlisuurustega see hakkama saab?
V: Praegu töötab see 6-- ja 8-tolliste vahvlitega. Sobib suurepäraselt nii labori uurimis- ja arendustööks kui ka täismahuliste tootmisliinide jaoks.
K: Kui madalale võib vaakumi tase langeda?
V: Me räägime protsessi vaakumi jaoks umbes 6E-6 Pa-st. See on kvaliteetsete ja ühtlaste õhukeste kilede saamiseks ülioluline.
K: Kui ühtlane on filmi ühtlus?
V. Lehe vastupidavuse ühtlus on 3% või võrdne sellega,-nii et te ei näe vahvlite lõikes suuri erinevusi, mis on seadme usaldusväärse jõudluse võtmeks.
K: Mille poolest see süsteem igapäevases kasutuses silma paistab?
V: Lisanduvad pisiasjad: klastri-stiilis modulaarne disain (eriti paindlik kohandatud seadistuste jaoks), täielikult automatiseeritud vahvlite käsitsemine (vähendab käsitsitööd) ja ühe-kambriga ühe-sihtmärgi paigutus (võimaldab protsessidel töötada paralleelselt, suurendades tõhusust).
K: Kas see sobib täiustatud pakkimisrakenduste jaoks?
V: Absoluutselt. Seda kasutatakse laialdaselt metalliseerimiseks täiustatud pakendites,{1}}nt RDL (ümberjaotuskihid), põrutused ja muud omavahel ühendatud struktuurid, mis vajavad usaldusväärseid metallkilesid.
Kuum tags: magnetroni pihustussüsteem, Hiina magnetroni pihustussüsteemide tootjad, tarnijad
