Maskideta UV-litograafias navigeerimine: valige oma projekti jaoks õige mudel

Jan 04, 2026

Jäta sõnum

Kui olete kunagi skanninud litograafiasüsteemide loendeid ja mõelnud: „Milline neist vastab tegelikult minu vajadustele?”-ei ole te üksi. Olenemata sellest, kas loote prototüüpe laboris või laiendate tööstuslikku tootmist, Nice-techi maskideta UV-litograafia mudeli valimine taandub teie eesmärkide vastavusse viimisel põhispetsifikatsioonidega. Jaotame oma valiku, et teie valikut lihtsustada.

 

Alustage "Must{0}}Oma"

Esmalt vastake kahele küsimusele, et valikuid kiiresti kitsendada:

Mis on väikseim funktsioon, mida ma vajan? (Seotud kriitilise mõõtme / miinimumjoonte / tühikutega.)

Kui kiiresti ma pean tootma? (Seotud särituse kiirusega.)

Kõik meie mudelid jätavad füüsilised maskid vahele (paindlikkuse jaoks suured!), kuid need on optimeeritud täpsuse, kiiruse või suurte aluspindade jaoks. Siit saate teada, kuidas need kokku kuhjuvad.

 

1. Akadeemiline uurimus ja väike-partii täpsus: MLM 100

Ülikooli laborite või mikroseadmete (MEMS, mikrofluidika) prototüüpide loomisel alustavate ettevõtete jaoks tasakaalustab UV Litho{0}}ACA täpsuse ja ruumitõhususe.

Täpsus: 0,8 μm kriitiline mõõde (CD), 1,0 μm jooned/tühikud (sobib hästi labori{2} mastaabis tööks).

Kiirus: kuni 100 mm²/min (kolm objektiivivalikut{1}}ideaalne iteratiivseks testimiseks).

Ruum: kompaktne 750 × 800 × 700 mm (320 kg), vajab vaid 1,5 × 1,5 m (sobib väikestele laboritele).

Boonus: valikuline halltoonides, toetab GDS/DWG/DXF vorminguid.

 

info-686-686

2. Kõrg-täpne tööstuslik katse: MLM 200

Kui ülipeened detailid (täiustatud andurid, suure-tihedusega kiibid) ja järjepidevus on olulised, tagab UV Litho-ACA Pro+.

Täpsus: 0,4 μm CD, 0,8 μm jooned/tühikud, 350 nm ülekatte täpsus (teravad mitmekihilised struktuurid).

Kiirus: kuni 100 mm²/min (neli objektiivi-stabiilsed väikese{2}}kuni-keskmise toodangu jaoks).

Eelis: halltoonid toetatud (kuni 4096 taset) 3D-mikrostruktuuride jaoks (nt mikro{4}}optika).

Ruum: 2,2 m × 1,7 m (590 kg)-sobib tööstuslikesse seadistustesse.

 

info-484-484

 

3. Kriitilised halltoonide vajadused: MLM 300

Kui teie projekt nõuab halltoonid (ilma eranditeta-nt kohandatud mikro-läätsed, biomeditsiinilised implantaadid), on UV Litho-ACA Master selle jaoks loodud.

Halltoonid: mitte{0}}valikuline (3D-kvaliteedi osas järeleandmisi ei tehta).

Täpsus: sama, mis Pro+ (0,4 μm CD, 350 nm ülekatte täpsus).

Kiirus: kiirem kui Pro+ (kuni 150 mm²/min)-parem veidi suuremate partiide puhul.

Ruum: sama, mis Pro+ (2,2m × 1,7m, 590 kg).

 

info-433-433

 

4. Masstootmine ja suured aluspinnad: MLM 400

Suure-mahuga töö (suured ekraanid, päikesepatareid) puhul eelistab UV Litho-S kiirust ja suurust.

Kiirus: meie valiku kiireim{0}}kuni 2500 mm²/min (kaks objektiivi, lühendab tootmisaega).

Aluspinnad: käepidemed kuni 200mm × 200mm (muud max 150mm × 150mm).

Täpsus: 1,0 μm CD, 2,0 μm read/tühikud (tööstuslike vajaduste jaoks enam kui piisav).

Ruum: 2,7 m × 2,3 m (1400 kg)-ideaalne tehasepõrandatele.

 

info-2094-2047

 

5. Täpsus + suured aluspinnad: MLM 500

Kui vajate suuri substraate ja paremat täpsust (kõrg-paindlikud andurid), on UV Litho-S+ parim koht.

Täpsus: 0,5 μm CD, 0,5 μm read/tühikud, 250 nm ülekatte täpsus (parim meie valikus).

Kiirus: kuni 1200 mm²/min (kolm objektiivi{1}}kiirem kui ACA-seeria suurte aluspindade puhul).

Aluspinnad: max 200mm×200mm (kaalud ilma mudelite vahetamiseta).

Ruum: sama mis UV Litho-S (2,7 m × 2,3 m, 1400 kg).

 

info-2094-2047

 

Kiire petuleht: sobitage oma projekt

 

Projekti tüüp

Parim mudel

Peamine põhjus

Laboriuuringud (väikesed partiid)

MLM 100

Kompaktne+ tasakaalustatud täpsus/kiirus

Suure täpsusega{0}}tööstuslikud jooksud

MLM 200

0,4 μm CD+ toetatud halltoonid

Kriitiline halltoonides töö

MLM 300

Mitte{0}}valikuline halltoonid+ ülim täpsus

Masstootmine (suured substraadid)

MLM 400

2500 mm2/min+200mmx200 mm tugi

Täpne suur{0}}põhimiktöö

MLM 500

0,5 μm CD+200mm x 200 mm suurus

 

Lõplikud märkused

Kõik meie maskita UV-litograafia mudelid sisaldavad automatiseeritud läätsede vahetamist (säästab aega!) ja ISO sertifikaate (ISO 9001/14001/45001 töökindluse tagamiseks). Pakume ka kohandatud eriti-suureid kokkupuutealasid (kuni 4 m²)-küsige.

"Õige" mudel ei ole kõige kallim,{0}}see on see, mis märgib teie ruudud. Kas teil on kasutusjuhtumi kohta küsimusi? Võtke meiega kohe ühendust, et valida sobivaim maskideta UV-litograafia lahendus.

Küsi pakkumist