Peamiselt teenindab järgmisi tööstusharusid:
1. Pooljuhtide tootmine: vahvli pinna defektide tuvastamine
2. Optilised materjalid: läätse kõveruse ja pinna kuju täpsuse analüüs
3. Biomeditsiin: biokiipide mikrostruktuuri vaatlus
4. Tööstuslik testimine: metallipinna töötlemise kvaliteedi hindamine
