Toote ülevaade
SE-seeria Cu{0}}Ti-söövitamise integreeritud seadmed on mõeldud pooljuhtide täiustatud pakendite märgsöövitamiseks-, mis on loodud 8–12-tolliste vahvlite sujuvaks käsitlemiseks. See on täielikult kohandatav metallisöövituslahendus, nii et saate seda oma seadistusega kohandada: valige 2–8 kambrit ja see töötab 2–4 SMIF POD- või FOUP-kandjaga.
Kapoti all on sellel integreeritud kemikaalide juhtimine (CCSS/LCSS-i toega) ja kivi{0}}kindlad protsessijuhtimisseadmed-mõelge täpsele kuumutamisele, kontsentratsiooni reguleerimisele ja voolu/rõhu reguleerimisele. Ohutus pole ka tagantjärele mõeldav: ülekuumenemiskaitse ja lekketuvastus on standardvarustuses, nii et saate toiminguid julgelt teha. Lisaks tähendab täielik SECS/GEM-suhtlus, et see sobitub otse teie olemasolevatesse töövoogudesse.
Lõppkokkuvõttes on see süsteem loodud ühe põhitöö jaoks: tõhus Cu-Ti metallikihi söövitus, mis hoiab täiustatud pakendamisprotsessid sujuvalt ja usaldusväärselt töökorras.
Eelised
1. Vormingu ja konfiguratsiooni paindlikkus
Toetab 8–12-tollisi vahvleid; 2–8 kambrit (kohandatud) vastavalt tootmismahule.
Kohandub 2–4 SMIF POD/FOUP kanduriga, sobides pärand/kaasaegse fab-logistikaga.
2. Suunatud metallisöövitusvõime
Spetsialiseerunud Cu/Ti metallikihi söövitamiseks, valikuliste keemiatega (söövitus, SC1+Megasonic jne) protsessi kohandamiseks.
3. Tõhus ja kulutõhus-
Integreerib keemilise regenereerimise ja klassifitseeritud heitgaasid (hape/alus/orgaaniline aine), et vähendada materjalijäätmeid ja tegevuskulusid.
Täpne protsessi juhtimine tagab ühtlase söövituskvaliteedi partiide lõikes.
4. Ohutus ja integratsioon
Sisseehitatud-ülekuumenemiskaitse, lekketuvastus ja klassifitseeritud kanalisatsioon ohutuks kasutamiseks.
Täielik SECS/GEM-tugi võimaldab sujuvat ühendust suurepäraste MES-süsteemidega.
Rakendused
Põhiväli:Täiustatud pooljuhtide pakend.
Võtmeprotsess:Cu (vask) ja Ti (titaan) metallikihtide märgsöövitamine täiustatud pakendamise töövoogudes (metallikihi mustri kujundamiseks, pakendistruktuuride valmistamise toetamiseks).
Parameetrid
|
Spetsifikatsioon |
Üksikasjad |
|
Vahvli suurus |
8-12 tolli |
|
Kambrid |
2-8 kambrit (toetavad kohandamist) |
|
Kandja ühilduvus |
2-4 SMIF POD/FOUP |
|
Toetatud keemia |
Etchant,SC{0}}Megasonic,DHF,DICO2,N2(konfigureeritav) |
|
Kemikaalide tarne tugi |
CCSS, LCSS |
|
Protsessi juhtimise funktsioonid |
Kütte reguleerimine, kontsentratsiooni reguleerimine, voolukiiruse reguleerimine, |
|
Heitgaaside juhtimine |
Eraldi heitgaas happele, alusele ja orgaanilisele ainele |
|
Lisafunktsioonid |
Keemiline taaskasutus; Vanni ülekuumenemise kaitse; Leke |
|
Sideprotokoll |
SECS/GEM |
|
Sihtrakendusväli |
Täiustatud pakend |
KKK
K: Milliseid vahvlisuurusi see seade toetab?
V: See ühildub 8–12-tolliste vahvlitega, mis katab tavalised vormingud täiustatud pakendites.
K: Kas kambrite arvu saab reguleerida?
V: Jah{0}}kambri kogust saab kohandada (2–8 kambrit), et see vastaks teie tootmismahule.
K: Milliste operaatoritega see töötab?
V: See toetab 2–4 SMIF POD/FOUP kandjat, kohandudes nii vanade kui ka kaasaegsete fab logistikasüsteemidega.
K: Milliseid materjale saab see söövitada?
V: See on spetsialiseerunud Cu (vask) ja Ti (titaan) metallikihtide märgsöövitamiseks täiustatud pakendites.
K: Kas sellel on säästmise{0}funktsioone?
V: Jah-integreeritud keemiline regenereerimine ja klassifitseeritud heitgaasid aitavad vähendada materjalijäätmeid ja tegevuskulusid.
K: Kas see saab ühendada meie tehase MES-iga?
V: Absoluutselt{0}}toetab see täielikult SECS/GEM sideprotokolli sujuvaks MES-i integreerimiseks.
Kuum tags: cu ja ti söövitaja, Hiina cu ja ti söövitajate tootjad, tarnijad
